特種氣體分類(lèi)：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純 度的氣體，對(duì)于不同類(lèi)別的氣體，純度指標(biāo)不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽(yáng)能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料，被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：儲(chǔ)存場(chǎng)地的道路，應(yīng)占整個(gè)場(chǎng)地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫(kù)前需檢漏，長(zhǎng)期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次，并做記錄。

特種氣體分類(lèi)：電子氣體是指用于半 導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體，目前，我國(guó)電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達(dá)國(guó)家相比，尚有較大差距；特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng)：為防止高壓容器跌倒、滾落、損壞、閥門(mén)泄漏等造成安全隱患，存放場(chǎng)地需平坦，操作需謹(jǐn)慎、輕柔；并用鏈條、繩索等將其固定在靠墻等堅(jiān)固位置。特種氣體的重要性：電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多，用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性，

特種氣體指半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進(jìn)、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過(guò)程中使用到一些化學(xué)氣體，也就是氣體類(lèi)別中的電子氣體，特種氣體分類(lèi)：電子氣體是指用于半 導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體，目前，我國(guó)電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達(dá)國(guó)家相比，尚有較大差距；特種氣體在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴(kuò)散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；